質(zhì)量流量控制器的作用是什么?

用于對于氣體或者液體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測量和控制。擴(kuò)散，氧化，分子束外延，CVD，等離子刻蝕，濺射，離子注入，以及真空鍍膜設(shè)備，光纖熔煉，微反應(yīng)裝置，混氣配氣系統(tǒng)，毛細(xì)管測量氣相色譜儀，光導(dǎo)纖維制造設(shè)備中。并廣泛用于石油化工。冶金，制藥等。特點(diǎn)：精度高，重復(fù)性好。

質(zhì)量流量控制器有哪些類型?

1.容積式流量計(jì)，又稱定排量流量計(jì)。它利用機(jī)械測量元件把流體連續(xù)不斷的分割成單個(gè)已知的體積部分，根據(jù)測量室逐次重復(fù)的充滿和排放該體積部分流體的次數(shù)來測量流體體積流量。

2. 浮子式流量計(jì)，又稱轉(zhuǎn)子流量計(jì)，是變面積式流量計(jì)的一種，在一根由下向上擴(kuò)大的垂直錐管中，圓形橫截面的浮子的重力是由液體動(dòng)力承受的，從而使浮子可以在錐管中自由的上升和下降。

3.差壓式流量計(jì)，是根據(jù)安裝于管道中流量檢測件產(chǎn)生的差壓，已知的流體的條件和檢測間與管道的尺寸來計(jì)算流量的儀表。

4.渦街流量計(jì)，在流體中安放一根非流線型游渦發(fā)生體，流體在發(fā)生體兩側(cè)交替的分離釋放出兩串規(guī)則地交錯(cuò)排列的游渦的儀表。

5. 渦輪流量計(jì)，是速度式流量計(jì)中的主要種類，它采用多葉片的轉(zhuǎn)子(渦輪)感受流體平均流速，從而推導(dǎo)出流量或總量的儀表。

6.超聲流量計(jì)，通過檢測流體流動(dòng)對超聲束(或超聲脈沖)的作用以測量流量的儀表。